Standarisasi ruang bersih

Di Amerika Serikat, hingga akhir November 2001, standar federal 209E (FED-STD-209E) digunakan untuk menentukan persyaratan untuk ruang bersih. Pada tanggal 29 November 2001, standar-standar ini digantikan oleh penerbitan Spesifikasi ISO 14644-1. Biasanya, ruang bersih yang digunakan untuk manufaktur atau penelitian ilmiah adalah lingkungan terkendali dengan tingkat kontaminan rendah, seperti debu, mikroba di udara, partikel aerosol, dan uap kimia. Tepatnya, ruang bersih memiliki tingkat polusi terkendali, yang ditentukan oleh jumlah partikel per meter kubik pada ukuran partikel tertentu. Dalam lingkungan perkotaan yang khas, udara luar mengandung 35 juta partikel per meter kubik, berdiameter 0,5 mikron atau lebih besar, yang sesuai dengan ruang bersih ISO 9 pada tingkat terendah dari standar ruang bersih. Ruang bersih diklasifikasikan menurut kebersihan udara. Dalam Standar Federal AS 209 (A hingga D), jumlah partikel yang sama dengan atau lebih besar dari 0,5 mm diukur dalam 1 kaki kubik udara, dan jumlah ini digunakan untuk mengklasifikasikan ruang bersih. Nomenklatur metrik ini juga diterima oleh versi standar 209E terbaru. Tiongkok menggunakan standar federal 209E. Standar yang lebih baru adalah TC 209 dari Organisasi Standar Internasional. Kedua standar mengklasifikasikan ruang bersih berdasarkan jumlah partikel di udara laboratorium. Standar klasifikasi ruang bersih FS 209E dan ISO 14644-1 memerlukan pengukuran dan perhitungan jumlah partikel tertentu untuk mengklasifikasikan tingkat kebersihan ruang bersih atau area bersih. Di Inggris Raya, Standar Inggris 5295 digunakan untuk mengklasifikasikan ruang bersih. Standar ini akan segera digantikan oleh BS EN ISO 14644-1. Ruang bersih diklasifikasikan menurut jumlah dan ukuran partikel yang diizinkan per volume udara. Angka besar seperti "Kelas 100" atau "Kelas 1000" mengacu pada FED_STD209E, yang mewakili jumlah partikel berukuran 0,5 mm atau lebih besar yang diizinkan per kaki kubik udara.