Standarisasi ruangan bersih

Di Amerika Serikat, hingga akhir November 2001, standar federal 209E (FED-STD-209E) digunakan untuk menentukan persyaratan kamar bersih. Pada tanggal 29 November 2001, standar ini digantikan dengan diterbitkannya Spesifikasi ISO 14644-1. Biasanya, ruangan bersih yang digunakan untuk produksi atau penelitian ilmiah merupakan lingkungan terkendali dengan tingkat kontaminan yang rendah, seperti debu, mikroba di udara, partikel aerosol, dan uap bahan kimia. Tepatnya, ruang bersih memiliki tingkat polusi yang terkendali, yang ditentukan oleh jumlah partikel per meter kubik pada ukuran partikel tertentu. Di lingkungan perkotaan pada umumnya, udara luar ruangan mengandung 35 juta partikel per meter kubik, dengan diameter 0,5 mikron atau lebih besar, sesuai dengan ruang bersih ISO 9 yang berada pada tingkat terendah dari standar ruang bersih. Kamar bersih diklasifikasikan menurut kebersihan udaranya. Dalam Standar Federal AS 209 (A hingga D), jumlah partikel yang sama dengan atau lebih besar dari 0,5 mm diukur dalam 1 kaki kubik udara, dan jumlah ini digunakan untuk mengklasifikasikan ruangan bersih. Tata nama metrik ini juga diterima oleh standar versi 209E terbaru. Tiongkok menggunakan standar federal 209E. Standar yang lebih baru adalah TC 209 dari Organisasi Standar Internasional. Kedua standar tersebut mengklasifikasikan ruangan bersih berdasarkan jumlah partikel di udara laboratorium. Standar klasifikasi ruangan bersih FS 209E dan ISO 14644-1 memerlukan pengukuran dan penghitungan jumlah partikel tertentu untuk mengklasifikasikan tingkat kebersihan ruangan atau area bersih. Di Inggris, British Standard 5295 digunakan untuk mengklasifikasikan ruangan bersih. Standar ini akan segera digantikan oleh BS EN ISO 14644-1. Kamar bersih diklasifikasikan berdasarkan jumlah dan ukuran partikel yang diperbolehkan per volume udara. Angka besar seperti "Kelas 100" atau "Kelas 1000" mengacu pada FED_STD209E, mewakili jumlah partikel berukuran 0,5 mm atau lebih besar yang diperbolehkan per kaki kubik udara.