Di Amerika Serikat, hingga akhir November 2001, standar federal 209E (FED-STD-209E) digunakan untuk menentukan persyaratan kamar bersih.Pada tanggal 29 November 2001, standar ini digantikan dengan diterbitkannya Spesifikasi ISO 14644-1.Biasanya, ruangan yang bersih digunakan...
Baca selengkapnya