
SOLUSI Semikonduktor BSLtech
Mengembangkan keahlian Anda dalam industri semikonduktor sering kali memerlukan ruang bersih atau lemari aliran laminar dengan kelas ISO tinggi (ISO 5 atau lebih tinggi). Apakah Anda menangani proses yang sensitif terhadap sinar UV? Bahkan saat itu BSL menyediakan ruang bersih yang tepat. Ruang bersih memiliki lapisan dinding berkualitas tinggi dan dilengkapi pencahayaan dengan filter UV. Dengan penggunaan bahan antistatis (ESD) dan batang antistatis pada sistem filter, muatan statis di udara dinetralkan.
Jika degassing tidak diinginkan, BSL menawarkan ruang bersih dari material non-outgassing (PU). Teknologi ini berasal dari industri kedirgantaraan.
Proses umum dalam industri semikonduktor:
● Perlindungan substrat dan wafer silikon
● Penelitian EUV
● Penyelaras masker
● Pelapisan vakum, pengendapan film tipis
● Aplikasi pencetakan
● Optik
Proses front-end dan back-end