SOLUSI Semikonduktor BSLtech
Mengembangkan keahlian Anda dalam industri semikonduktor sering kali memerlukan ruang bersih atau lemari aliran laminar dengan kelas ISO tinggi (ISO 5 atau lebih tinggi). Apakah Anda berurusan dengan proses yang sensitif terhadap sinar UV? Itupun BSL menyediakan ruang bersih yang tepat. Kamar bersih memiliki finishing dinding berkualitas tinggi dan dilengkapi pencahayaan dengan filter UV. Dengan menggunakan bahan antistatis (ESD) dan batang antistatis pada sistem filter, muatan statis di udara menjadi netral.
Ketika degassing tidak diinginkan, BSL menawarkan ruang bersih dari material non-outgassing (PU). Teknologi ini berasal dari industri dirgantara.
Proses umum dalam industri semikonduktor:
● Perlindungan media dan wafer silikon
● Penelitian EUV
● Pelurus masker
● Pelapisan vakum, deposisi film tipis
● Mencetak aplikasi
● Optik
Proses front-end dan back-end